^вверх

foto1 foto2 foto3 foto4 foto5


ComplefleX-5 Рентгеновский рефлектометр-дифрактометр для комплексных исследований материалов и наноструктур

 

Общий вид прибора в защитном кожухе

Основные элементы системы: 1- излучатель, 2 – прецизионный гониометр, 3- коллимационная система, 4 – держатель объектов, 5 - Х,У(jy) - подвижки, 6 – управляемая щель, 7 – блок пленочных монохроматоров, 8 – α-детектор, 9 - β-детектор, 10 - держатель спектрометра

 

Инновационная измерительная схема.

Инновационная измерительная схема. Прибор построен по запатентованной измерительной схеме и обеспечивает уникальное сочетание аналитических методов, которые реализуются на единой измерительной платформе.  Новая метрологические концепция, основанная на одновременной регистрации данных на двух длинах волн, позволяет достичь рекордной чувствительности и повысить точность и однозначность рентгенооптических измерений. Размещение измерительной системы на оптическом столе позволяет легко проводить ее дальнейшее расширение, модификацию и размещать дополнительное оборудование.

 

Схема параллельных измерений на двух спектральных линиях с помощью полупрозрачных монохроматоров
Элементы схемы. XS - источник излучения,  S - образец,
STM- полупрозрачный монохроматор,  
M2 - второй монохроматор,  
D1 - α-детектор, D2 - β-детектор
SS – полупроводниковый спектрометр 

 

Состав и технические характеристики

 1. Генератор  рентгеновского излучения
1.1 Острофокусная рентгеновская трубка с линейной проекцией фокуса 20 мкм
1.2 Рентгеновский высоковольтный источник диапазон ВВ-напряжения 10 до 45 кВ мощность – 300 (500) Вт;
стабильность по току и напряжению - 0,01 %;
1.3  Система замкнутого воздушно-водяного охлаждения рентгеновской трубки.
2. Системы углового и линейного сканирования
2.1 Гониометр Θ-2Θ
минимальный угловой шаг – 0.0002º (0,7");
угловой диапазон:
ось вращения детекторов 140º (-25º – 115º)
ось вращения образца – 360º.
2.2  Моторизованные XYZ системы сканирования образца с субмикронным линейным шагом
2.4. Моторизованная приемные и коллиматорные щели
3. Блок монохроматоров полупрозрачный и массивный монохроматоры рентгеновского излучения в держателях с линейными и угловыми подвижками.
3.1 Два сцинтилляционных детектора
3.2. Спектрометрический детектор.
4. Средства детектирования
5. Габариты и вес
Прибор расположен в защитном кожухе с габаритными размерами:
 – ширина:  140 см
 – глубина:  100 см
 – высота: 165 мм
Вес прибора – 270 кг

 

Основные методы измерений

Рентгеновская оптика
* рефлектометрия
* рефрактометрия
* малоугловое рассеяние

Определение размера нанопор в кремнии (область 1: 8 нм, область 2 - 3 нм) методом малоуглового рассеяния

Дифрактометрия
* измерения параметров решетки кристаллов
* фазовый анализ
* анализ текстур

 Полярные диаграммы интегральной интенсивности дифракционного отражения на линиях CuKα (1) и CuKβ (2) от пленки пирографита толщиной 50 мкм    

 Спектрометрия
* измерение эмиссионных рентгеновских спектров
* измерение спектров поглощения

 

Определение в образце концентрации брома по К-скачку рентгеновского фотопоглощения